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檢測金屬和非金屬固體材料中的氧氮采用的是惰性氣體熔融原理，可以用一臺氧氮分析儀同時測定氧氮含量，在進行氧氮的測定中，將稱量后的試樣放在石墨坩堝中，在氦氣（不測氮含量時可用氬氣以節約使用成本）氣流中通過高溫加熱熔融。試樣中的氧與石墨坩堝中的碳反應生成一氧化碳（CO），試樣中的氮以氮氣的形式逸出，這些混合氣由載氣分兩路，一路送到高溫轉化爐，在高溫轉化爐中一氧化碳（CO）轉化為二氧化碳（CO2），通過轉化爐后的混合氣體被送到CO2紅外檢測池中，通過檢測出來的二氧化碳（CO2）的含量，計算出樣品中的氧含量。另外一路通過常溫轉化爐后，混合氣體中的二氧化碳（CO2）和水被吸附后，剩余的載氣混合氮氣通過熱導檢測池，檢測出氮的信號數據，經計算機數據處理直接給出測試樣品中氮含量的測試結果。